전력반도체 전환기, 고전압·열 측정이 수율을 좌우합니다
SiC·GaN 전력반도체가 전기차와 산업·재생에너지로 빠르게 확산되면서, 항복 시험 전압이 200V를 넘어서고 웨이퍼 레벨에서의 고전압 특성 평가가 표준이 되고 있습니다. I-V 특성 시험은 이제 정적 측정을 넘어 전압·전류 트랜지언트와 스위칭 손실, 열 거동을 동시에 잡아내야 합니다.
여기에 미세화·첨단 패키징으로 전력 밀도가 높아지며 정션 온도와 열 관리 계측의 중요성도 커졌습니다. 코스테크는 고전압 측정 모듈, 정밀 오실로스코프, 고속 데이터 수집장비, 표준급 온도·압력 계측을 아우르는 라인업으로 R&D부터 신뢰성 검증·양산까지 정확한 데이터를 지원합니다.
- >200 V고전압 항복 시험
- V·I 동시트랜지언트 캡처
- ±0.01%정밀 압력·온도
반도체 산업에서 필요한 측정
코스테크 솔루션이 실제로 적용되는 핵심 측정 분야와 세부 어플리케이션입니다.
고순도 특수 가스 캐비닛을 위한 압력 모니터링 솔루션
반도체 생산 라인의 고순도 특수 가스 캐비닛은 보호 가스에 대한 정밀한 압력·유량 제어가 필요하며, 요구 정확도는 0.25% FS 이상, 압력 범위는 저압대부터 최대 3000 psiG에 이릅니다. 캐비닛당 5~10개의 센서가 쓰이는데, 순도 99.999% 이상과 부식·누출 방지, 오일-프리 사양을 모두 충족해야 합니다.
Druck은 고객과 긴밀히 협력해 UNIK 1000 구성 가능 모듈식 압력 센서를 도입했습니다. 광범위한 검증을 거쳐 높은 정확도와 장기 안정성, 낮은 비용을 입증했고, 반도체 산업 표준의 VCR 압력 피팅과 전용 세척 공정으로 고순도·오일-프리 요구를 만족시켰습니다.
- UNIK 1000 모듈식 압력 센서로 가스 파이프라인 압력 정밀 모니터링
- 최대 6,000 psi를 견디는 맞춤형 VCR 압력 피팅 개발
- 탈지·오일-프리 세척 공정으로 99.999% 고순도 사양 충족
- 현지 생산·짧은 납기·강력한 기술 지원으로 운영 비용 절감
반도체 산업에 적합한 대표 모델
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